慶?，F(xiàn)場(chǎng)
近期，北方華創(chuàng)第1000臺(tái)立式爐正式出廠。這一成就不僅標(biāo)志著公司立式爐產(chǎn)品取得飛躍性進(jìn)展，更體現(xiàn)了中國(guó)集成電路設(shè)備制造實(shí)力的顯著提升。
據(jù)介紹，立式爐作為集成電路制造的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于前道氧化、擴(kuò)散和退火等熱處理工藝，直接影響了半導(dǎo)體器件的性能。同時(shí)，立式爐可批量處理晶圓，提高生產(chǎn)效率，在當(dāng)前集成電路生產(chǎn)中占據(jù)越來(lái)越重要的位置。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，2024年立式爐全球市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)32億美元。
據(jù)了解，北方華創(chuàng)自2010年將首臺(tái)立式爐交付客戶后，十余年內(nèi)，立式爐通過(guò)客戶端嚴(yán)格驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，廣泛覆蓋邏輯、存儲(chǔ)、功率、先進(jìn)封裝及大硅片生產(chǎn)等關(guān)鍵領(lǐng)域。2020年，北方華創(chuàng)第100臺(tái)立式爐交付，2023年6月，第500臺(tái)立式爐交付，僅1年零6個(gè)月后，第1000臺(tái)立式爐正式交付。千臺(tái)立式爐的成功出廠，不僅體現(xiàn)了“華創(chuàng)速度”，更是北方華創(chuàng)技術(shù)革新與品質(zhì)堅(jiān)守的有力見(jiàn)證，是中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)邁向世界前列的堅(jiān)實(shí)一步。
北方華創(chuàng)立式爐得益于公司在技術(shù)層面的不斷創(chuàng)新和突破。立式爐設(shè)備以高精度的溫度控制能力，良好的成膜均勻性，以及先進(jìn)的金屬及顆粒污染控制技術(shù)，大幅提升了芯片良品率。近年來(lái)，北方華創(chuàng)開(kāi)發(fā)了一系列立式爐新技術(shù)，進(jìn)一步鞏固自身在行業(yè)中的技術(shù)領(lǐng)先地位。展望未來(lái)，北方華創(chuàng)將秉持銳意進(jìn)取的精神，在集成電路設(shè)備的新征程中領(lǐng)航破浪，以卓越品質(zhì)致敬未來(lái)。
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